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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱(chēng):

HCTZ-2S四探針測(cè)試儀器

產(chǎn)品型號(hào):

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

所在地:北京市

更新日期:2023-05-10

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

HCTZ-2S四探針測(cè)試儀器是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

產(chǎn)品特性Product characteristics
品牌華測(cè)

產(chǎn)品名稱(chēng):四探針測(cè)試儀

產(chǎn)品型號(hào):HCTZ-2S

品牌:北京華測(cè)

一、產(chǎn)品介紹

HCTZ-2S四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

HCTZ-2S雙電測(cè)數(shù)字式四探針試驗(yàn)儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,采用兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精確度,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。

測(cè)試程序控制四探針試驗(yàn)儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。

HCTZ-2S四探針測(cè)試儀

1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承,量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運(yùn)動(dòng),持久耐磨,測(cè)量精度高、重復(fù)性好。

A.探頭間距1.00

B.探針機(jī)械游率:±0.3%

C.探針直徑0.5    

D.探針材料:碳化鎢,常溫不生銹

E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。

2、手動(dòng)測(cè)試架

手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試,探針頭可上下移動(dòng)距離:120mm,測(cè)試臺(tái)面200x200(mm)

產(chǎn)品應(yīng)用

HCTZ-2S四探針試驗(yàn)儀采用四探針雙電測(cè)量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén),是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測(cè)量的一種重要的工具。本儀器配置各類(lèi)測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用精度的AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,配備10英寸觸摸屏,軟件可保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率,配備不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
    1.TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù): 光耦與隔離無(wú)非是提高儀器的采集的抗干擾處理,對(duì)于閃絡(luò)放電過(guò)程中的浪涌對(duì)控制系統(tǒng)的防護(hù)起不到任何作用。華測(cè)TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù),將起到對(duì)控制系統(tǒng)的防護(hù)。
    2.本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置三個(gè)數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),一塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,更及時(shí)掌控測(cè)量電流,一塊顯示23探針間的測(cè)量電壓,另一塊是顯示當(dāng)前14探針測(cè)量使用的電壓,可以適當(dāng)調(diào)整測(cè)量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測(cè)材料。

3.主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān),在測(cè)量某些薄層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,好地保護(hù)薄膜。采用低通濾波電流檢測(cè)技術(shù)以保證采集電流的有效值 ,以及電流抗干擾的屏蔽。
    4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金,硬度高、常溫不生銹,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和度。本機(jī)如加配測(cè)量軟件,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測(cè)量帶來(lái)很大方便。軟件平臺(tái)

5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的hcpro軟件,具備彈性的自定義功能,可進(jìn)行電壓、電流。

6.儀器通過(guò)USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接,軟件可對(duì)四探針電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測(cè)量數(shù)據(jù),特定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式,顯示變化曲線,兼容性:適用于通用電腦

7.測(cè)試系統(tǒng)的軟件平臺(tái)hcpro,采用labview系統(tǒng)開(kāi)發(fā),符合導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料的各項(xiàng)測(cè)試需求,具備穩(wěn)定性和安全性,并具備斷電資料的保存功能,圖像資料可保存恢復(fù)。兼容XPwin7win10系統(tǒng)。

軟件功能

具有試驗(yàn)電壓設(shè)置功能;

可選擇試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

可選擇是否自定義或自動(dòng)試驗(yàn)

截止條件:時(shí)間/電壓/電流;

語(yǔ)音提示:可選擇是否語(yǔ)音提示功能。

統(tǒng)計(jì)報(bào)告:可自定報(bào)表格式

可生出PDFCSVXLS文件格式

分析功能:可對(duì)測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。大/小值、平均值等。

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量范圍

 阻:1×10-4~2×105Ω,     分辨率:1×10-5~1×102Ω

電阻率:1×10-4~2×105Ω-cm  分辨率:1×10-5~2×102Ω-cm

 阻:5×10-4~2×105Ω/□,  分辨率:5×10-5~1×102Ω/

數(shù)字電壓表

量程:20.00mV~2000mV

誤差:±0.1%讀數(shù)±2

數(shù)控恒流源

量程:0.1μA1μA10μA100μA1mA10mA100mA,1A

誤差:±0.1%讀數(shù)±2

四探針探頭

碳化鎢探針:Ф0.5mm,直流探針間距1.0mm,探針壓力:0~2kg可調(diào)

薄膜方阻探針:Ф0.7mm,直流或方形探針間距2.0mm,探針壓力:0~0.6kg可調(diào)

注意事項(xiàng)

1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū),規(guī)范操作

2、輕拿輕放,避免儀器震動(dòng),水平放置,垂直測(cè)量

3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源,連接線無(wú)需經(jīng)常拔下,避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

4、探針筆測(cè)試結(jié)束,套好護(hù)套,避免人為斷針。



HCTZ-2S四探針測(cè)試儀器

HCTZ-2S四探針測(cè)試儀器

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